短波长工具显微镜技术指标
放大倍数：108-17280倍；Z轴移动分辨率≤10nm，显示分辨率：≤1nm ；测量重复性：100倍时：σn-1≤0.012μm；50倍时：σn-1≤0.012μm； 测量正确性：≤0.2+L/100μm（L=测量长度）。[1]
短波长工具显微镜主要功能
108-17280倍放大显微放大观测。[1]
参考资料
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短波长工具显微镜是一种用于工程与技术科学基础学科领域的分析仪器，于2016年12月21日启用。
放大倍数：108-17280倍；Z轴移动分辨率≤10nm，显示分辨率：≤1nm ；测量重复性：100倍时：σn-1≤0.012μm；50倍时：σn-1≤0.012μm； 测量正确性：≤0.2+L/100μm（L=测量长度）。[1]
108-17280倍放大显微放大观测。[1]
