激光扫描显微镜技术指标
1、测试功能：PROFIEL 形貌测量（精度）、线粗糙度和面粗糙度测量、磨耗对比测量等。Z向测量显示分辨率0.5nm；重复精度：0.012um；X向测量显示分辨率1nm，重复精度：0.02um；测量高度范围：0—7mm 2、扫描速度：面扫描：4-120Hz，线扫描：7900Hz 3、图像分辨率：130nm。[1]
激光扫描显微镜主要功能
主要用于样品形貌特性的观察与测量。[1]
参考资料
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