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三维轮廓仪技术指标
1、三轴移动方式：xy轴为电动控制，z轴为自动控制；2、测量点阵分辨率：1360*1024pixels;3、四种光源；4、同时具备共聚焦、白光干涉、相位差干涉三种测量模式；5、高度测量：达到40mm（standard);6、xy轴位移：达100*75mm；7、xy轴测量分辨率：可达0.31μm；8、z轴线性度：＜0.5μm/mm;9、Z轴分辨率：2nm;10、高度步进精度：0.5%；11、显示分辨率：0.001nm.。[1]
三维轮廓仪主要功能
进行尺寸、粗糙度的测试。[1]
参考资料
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