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电容式加速度传感器 我有新说法
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电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器,其中一个电极是固定的,另一变化电极是弹性膜片。弹性膜片在外力(气压、液压等)作用下发生位移,使电容量发生变化。这种传感器可以测量气流(或液流)的振动速度(或加速度),还可以进一步测出压力。

目录

电容式加速度传感器基本信息

LCC封装
测量范围可定制
优异的偏差稳定性低模拟电压输出
高抗冲击性能
集成温度传感器
过电保护

电容式加速度传感器应用领域

█惯性测量:航天;航空与制导
█倾斜测量:运输;仪器仪表;钻探
█振动测量:地震测量;数据记录仪

电容式加速度传感器技术指标

</strong>参数
单位
MS9002.
MS9010
MS9030
MS9050.
MS910D.
MS9250.
全部测量范围
g
±2g
±10g
±30g
±50g
±100g
±250g
封装
LCC20(,8.9mmx8.9mm/0.35inchx0.35inch)
零位校准
mg
<10
<50
<150
<250
<500
<1250
零位稳定性(﹥48H)
mgtyp.
<0.05
<0.25
<0.75
<1.25
<2.25
<6.25
开/关重复性
mgmax.
<0.15
<0.75
<1.5
<3.8
<7.5
<18.8
零位温度系数
mg/℃typ.
<0.1±
<0.5
<1.5
<2.5
<5
<12.5
mg/℃max.
0.4
±2
±6
±10
±20
±50
比例因子(K1)
mV/g
1000±8
200±2
66.6±1
40±1
20±1
8±1
比例因子温度系数
ppm/℃typ.
100
100
100
100
100
100
min./max.
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
输入轴偏心度(Kp,Ko)
mradmax.
<10
<10
<10
<10
<10
<10
%max
1
1
1
1
1
1
分辨率/阈值(@1Hz)
mgmax.
<0.1
<0.6
<1.7
<2.8
<5.5
<12.5
非线性度
%ofFSmax.
<0.8
<0.9
<0.9
<0.9
<1
<1
gmax.
<0.02
<0.09
<0.27
<0.50
<1
<2.5
带宽
Hz
0~≥100
0~≥100
,
0~≥100
0~≥100
0~≥100
0~≥100
噪声谱密度[0;9kHz]
μV/√Hztyp.
18
18
18
18
18
18
max.
24
24
24
24
24
24
谐振频率
kHz
1.4
3.7
6.3
11
15
26
供电电压
VDC
2.5~5.5VDC,标准的校准电压为5.0VDC
重量
g
<1.5
尺寸
mm
标准值14.2X14.2X3.3mm,值14.48X14.48X3.79mm
参考资料


目录
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