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高真空离子溅射仪使用膜厚监控
1.打开总电源，打开氩气开关（两成保持在0.035Mpa左右，溅射时也要注意氩气的流量）。
2.按主机背面的开关按钮，进入开机界面，根据提示进行下面一系列的操作。
3.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。
4.Target B type操作同上。
高真空离子溅射仪不使用膜厚监控
1.其余操作步骤同上，但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间（最长时间是4min），和循环次数（最多循环9次），按上下键设置时间。
2.接下来仪器就开始自动洗靶，自动溅射，溅射结束后要稍等片刻，然后按stop放气。待放气操作完成后，开盖，取出样品。
3.B靶操作同A靶。
高真空离子溅射仪常见故障
故障现象 | 判断与解决方法 |
溅射电流不稳定忽高忽低 | 阴极罩与靶的固定环距离过近。逆时针旋转阴极罩，调整间距。 |
真空过低 | 旋紧放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面 |
使用一段时间后，溅射电流变小 | 检查靶材有无变色、破裂和油污等现象。前两者更换靶材；后者被油蒸汽污染，使用无水乙醇清洁，待干后方可抽真空。 |
使用一段时间后，真空过低 | 检查溅射室中或管道内是否有油，可用汽油清洗。 |
参考资料
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