olympus奥林巴斯 自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜 al110/mx61
olympus al110/mx61 产品特性 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(all110-6)● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(al110-8)● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性● 灵活的程式设计,zui短的搬送时间*的提高了生产效率● al110-12 3--vmm 晶圆自动搬送机台(new)
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OLYMPUS MX61具体介绍
OLYMPUS MX61L具体介绍[1] :
OLYMPUS MX61L
型号 | OLYMPUSMX61L型显微镜 | |
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | |
显微镜镜体 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配） ，转换使用内置电动孔径光阑（每个物镜可预设，物镜转换时自动转换，暗视场观测时自动打开） |
观测方法 | ||
①反射光明视场法；②反射光暗视场法；③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法；④反射光简单偏振法；⑤反射光荧光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明视场法；⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 | ||
观察镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 | 超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的标准配置） |
换镜转盘 | 电动五孔明/暗视野法用转盘，配备滑槽用于微分干涉衬比法观测：U-D5BDREMC型 | |
载物台 | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原装日本精机2轴电动平台，可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 | |
内置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
能耗 | ||
体积/重量 | 体积：约710（宽）×843（长）×507（高）mm 重量：约51kg（载物台约重31kg） | |
OLYMPUS MX61产品特点
半导体/FPD检查显微镜；为用户提供高效率。
MX61适用于200mm的样本，而MX61L则可适用于300mm的样本。
1、大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利。
3、多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求。
4、透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果。
OLYMPUS MX61对比
OLYMPUS MX61L与OLYMPUS MX61的对比：
半导体/FPD检查显微镜 规格 | MX61L | MX61 | ||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | |||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | ||
反射/透射 | 反射/透射 | |||
照明装置 | 机身一体型（明视场，暗视场+1选件） | |||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | ||
透射照明 | 纤维光导 | |||
对焦单元 | 电动/手动 | 手动 | ||
行程 | 32 mm | |||
分辨率/微调灵敏度 | 微调旋钮转动1周移动0.1 mm | |||
样本高度 | 30 mm | |||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | ||
明暗视场微分干涉5孔 | ||||
明暗视场微分干涉6孔 | ||||
明暗视场微分干涉中心输出5孔 | ||||
手动式 | - | |||
载物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明范围356×284 mm） | 8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明范围189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm | |
观察筒 | 广角视场 （视场数22） | 倒置 | 双目/三目观察筒 | |
正像 | 三目观察筒 | |||
超宽视场 （视场数26.5） | 倒置 | 三目观察筒 | ||
正像 | 倾斜三目观察筒 | |||
附件单元 | IR单元/电动载物台/自动装载 | |||
外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合） | 509（W）×843（D）×507（H）mm （标准组合） | ||
重量 | 51 kg（标准组合） | 40 kg（标准组合） | ||
参考资料
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