微片（型）Nd:YAG激光器双折射外腔回馈位移测量原理研究

光学位移传感器精度很高，应用广泛。但缺少体积小精度高的位移传感器。本申请提出微片（型）Nd:YAG激光器光回馈位移测量原理并进行实验，完成一个装置。装置的核心由一个Φ3×1的Nd:YAG微片激光器，和一个内置波片（45度相位延迟）的双折射外腔组成，总长度仅几个厘米。原理：在回馈外腔中置入双折射元件，激光器沿该双折射元件快、慢轴两个方向的输出功率均被外腔回馈镜调制，即：获得两路相位差90度的激光回馈信号，由此两路信号可以解决光回馈测量中的判向和细分两大问题。该新原理的光回馈测微仪结构简单紧凑，性价比高，可溯源，预期测量范围达几十毫米，分辨率可达26.6nm。^[1]