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表面成分分析仪技术指标
分辨率：（二次电子、高真空）15kV时1.2nm、 1kV时2.2nm加速电压：0.02～30KV放大倍数：10～2,000,000x。[1]
表面成分分析仪主要功能
有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、背散射电子成像。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。[1]
参考资料
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