3D彩色激光扫描显微镜

1.综合倍率: 28000 倍以下,拍摄分析率：3072×2304 2.视野 (最小观察范围):11 μm 至 5400 μm 3.帧频率/激光测量速度: 4 至120 Hz、7900 Hz 4.光学系统: 针孔共聚焦光学系统；光接收元件：光电倍增器、16 bit 5.感应扫描方式：自动上下限设置功能 高速光量化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) 6.高度测量：显示分辨率/线性标尺0.5 nm；动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)16 bit； 重复精度σ 20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm； Z轴测量用内存1400 万步骤；准确性0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)；样品高度28 mm, 128 mm (可选件)。^[1]

本系统采用激光共聚焦显微测量技术，采用绿光光源，可实现200nm的分辨率，可实现对材料表面微结构的形貌及结构尺寸的精确测量。^[1]