微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体*的优势和特点。

微波产生的氦等离子体使有机化合物中的元素激发产生特征性的发射光谱。谱线的波长可作定性判据，谱线强度可作定量的依据。

等离子体发射光谱仪用于测定各种物质（可溶解于盐酸、硝酸、jing氟酸等）中的常量、微量、痕量元素的含量。2、仪器具有、抗干扰型强、自动化程度高、操作简便、稳定可靠、测试范围广、分析速度快、检出限低等特点。3、广泛应用于稀土、地质、冶金、化工、环保、临床医药、石油制品、半导体、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。