热电偶真空计

,真空计具有简单、经济、使用方便等特点，在中真空以至低真空测量中都占有重要的地位。然而，我们发现它的规管虽然简单，但由于丝细而长比较脆弱，经不起振动和气流冲击，同时丝表面对污染较为敏感，即使采用白金丝或镀金钨丝，稳定性仍然很差。

热偶真空计属热导真空计，产生于1906年，但只是在40年代解决了细丝焊接问题之后，它才得到实际应用。由于它相对皮氏计而言，更为简单、可靠，在许多地方代替了皮氏计。不过，迄今为止，商售热偶真空计于定流式一种，一般测盆上限仅为100Pa。

热电偶真空计，基于定温和对流原理，采用稳定型热偶真空规管和现代电子器件，成功地把测量上限扩展至大气压，并弥补了皮氏计的不足之处，为热导真空计的广泛应用开拓了新的前景^[1] 。

热电偶真空计（thermocouplevacuumgauge）的工作原理是：当气体分子平均自由程大于容器的线度时，它的热传导系数正比于压强。将一根金属丝通以恒定的加热电流时，由于气体导走了一部分热量，故当达到热平衡时，金属丝便保持一定的温度。气体的压强高，导走的热量多，平衡温度就低。所以金属丝的温度是气体压强的函数，可以通过测量金属丝的温度而求得压强的大小。

1.热电偶真空计配用的传感器抗沾污、抗氧化、结实、不怕气流冲击与振动。

2.重复性好。，在工业应用中，真空测量的重复性比侧量精度更为重要。是用户最关心的一个指标。测试结果与应用实例表明本真空计的重复性是工业应用中较理想的中、低真空测量仪器。

3.测量范围宽。国内外热偶真空计的测量范围达到1-10⁵Pa尚是出现。

4.带有两组触点输出。既可作真空检测，又可作真空监控真空继电器用。

5.带有断丝报警。当规管断丝或规管电缆接触不良，操作者能及时发现^[2] 。

热电偶真空计是国际上一种新型真空测量仪器，它不仅可作真空检测，并兼顾真空监控（真空继电器）之功能。仪器采用现代电子技术集成元件、配用ZJ-55T型热偶规管，具有性能稳定、量程宽、响应快、重复性好、耐粘污、抗氧化，操作简便、结构合理维修方便、外型美观，抗干扰性能强。是国内外较的中、低真空测量仪器^[3] 。