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电子束表面分析仪技术指标
SE分辨率 15kV：0.8nm (工作距离≥3mm)1kV：1.1nm（工作距离≥1.2mm，减速模式）。[1]
电子束表面分析仪主要功能
冷场发射高分辨扫描电子显微镜配备新型场发射电子枪，使得束流更大、更稳定，具有超高分辨率能力，低加速电压下（1kV）二次电子分辨率可达1.1nm。 配备Bruker FlatQuad型平插式X射线能谱仪，可对样品进行高分辨元素分析。应用于生物、化学等纳米尺度材料的结构和成分分析。[1]
参考资料
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