可见红外扫描显微镜

1. 激光光源：波长532nm的固体激光器，功率≥3mW，波长1550nm，功率≥100mV；； 2. 光电探测器：可见光PMT波长响应范围优于185－850nm，包含驱动电源及后续信号处理电路；红外PMT波长响应范围900－1660nm，峰值响应波长1550nm，包含驱动电源及后续信号处理电路； 3. 探针扫描探测范围XY≥90µm×90µm；Z≥9µm；样品扫描范围XY≥50µm×50µm； 4. 扫描近场光学显微镜的分辨率≤100nm； 5. 带有XYZ三维传感器的压电陶瓷扫描器，同时具有开环控制和闭环控制的功能； 6. 控制软件与常规光探测器和光谱探测仪器兼容，并具有联用的升级功能，能够实现对选定光波段进行近场扫描成像和形貌成像分析； 7. 视频显微镜：正置显微镜带CCD成像； 8. 倒置显微镜：用于透射信号收集和收集模式激光激发； 9. 可放置样品尺寸直径不小于100mm。^[1]

1.能够实现扫描近场光学显微镜、原子力显微镜的探测、成像，可用于对样品的微区表面近场光学信息、纳米尺度形貌等的检测以及微纳表面结构加工技术研究。 2．具备扫描近场光学显微镜的多种工作模式，如：SNOM收集模式和剪切力模式等； 3．具有原子力显微镜的常用工作模式，如：接触模式、半接触模式、非接触模式、摩擦力显微镜、相位成像模式、力调制模式、磁力显微镜、静电力显微镜、粘附力成像、扫描电容显微镜、扫描开尔文探针显微镜、扩展电阻成像、压电响应力显微镜等。。^[1]