opg 5 hfz自动清洁度分析仪器产品概述
自动清洁度分析系统是一款自动扫描分析显微镜，该设备采用自动化偏光解决方案，具有高效，智能，高精度等特点，广泛应用于汽车零部件，电子、医疗、光学等相关的清洁度检测。
目录
表面颗粒分析仪技术指标
激光405nm波长，激光斑点直径≤15um；支持样品尺寸2in、3in、4in、6in和8in；可装载样品的高度1100um；透明样品厚度至少380um；样品固定方式：真空吸附；颗粒直径≥80nm；。[1]
表面颗粒分析仪主要功能
非接触无损伤测量得激光扫描方式，针对半导体行业的晶圆表面缺陷（主要包括微粒、划伤、坑点、水渍、痕迹残留等）的检测及统计分类。[1]
参考资料
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技术规范
烟气水分测量范围 :
（烟气水分体积百分比） 0…40 vol%
准确度:
烟气水分：a.≤5.0%时，误差应不超过≤±1.2%
b. >5.0%时，相对误差应不超过≤±12%
烟气温度： ±0.5 ℃（100℃时）
响应时间（t90）（在流量和压力满足1l/min 和1bar的条件下）
从高湿到低湿环境：150s
从低湿到高湿环境：10s