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白光干涉共聚焦轮廓仪

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  • 白光共聚焦轮廓仪

    中图仪器SuperView WT3000系列白光共聚焦轮廓仪,已成功服务半导体、3C电子、光学加工、微纳制造等多领域客户,实测效果获高度认可.
  • 白光干涉共聚焦轮廓仪

    SuperView WT3000白光干涉共聚焦轮廓仪融合白光干涉+共聚焦双技术,实现超精密3D形貌测量:白光干涉模式粗糙度RMS重复性0.005nm、形貌重复性0.1nm;共聚焦模式可测近90°尖锐倾角,台阶测量重复性12nm。
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  • 白光干涉+共聚焦双技术轮廓仪

    深圳市中图仪器自研的superview wt3000系列白光干涉+共聚焦双技术轮廓仪,是亚纳米级非接触式3d检测核心设备,可覆盖全行业超精密加工与科研检测需求。
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