1定义

通过显示模块显示芯片的型号、名称、逻辑表达式、芯片是否能够正常工作。或者直接按下自动检测键，也可达到同样的效果的机器。

2使用说明

电源及系统启动方式

1. 打开设备卷帘盖。

2. 打开接线板开关，打开蓝色稳压开关。注意：必须待稳压电源指示灯由红色变为绿色?电压稳定后才可进行后续操作，如电压不稳定就开始操作，很可能损坏设备。

3. 按下圆形绿色ON开关，打开系统总电源。

4. 打开机台右下方的黑色有机玻璃盖子，按下白色圆形按钮启动电脑主机。

5. 按下橙色开关power。

6.打开显示器开关，启动PG-2000软件和PClink软件。登录ID: 1, password:1

7.打开显微镜左侧红色开关。

样品检测操作

1.按下绿色按钮start，载物盘移出，按下VAC抽真空键，真空泵工作。放入芯片，轻触芯片看是否吸附牢固,确定样品放置平整，如不平整则会影响检测结果并损坏探针。

2.芯片放置完毕后再次按下绿色Start键，载物盘归位。

3.选取标准芯片，进行影像学习，设定60%的相似度，可以根据需要自行设定然后点击搜索。

4.取任意最近一点，点击产品设定，选择自动更新，系统自动显示出行数、列数以及晶粒间距，点击产品设定、存储、名称、点击设定名称，自行输入名称后点击离开。

5.点击晶圆水平，进行影像的水平调节。

6.点击影像扫描，系统自动扫描选取样品。

7.进行接触检测，按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮?亮则说明接触良好，否则为接触不良。若接触不良则需要按下A/Light键，打开环形照明灯，从显微镜的目镜中观察样品以及针头位置，调节探针台的XYZ轴旋钮，使针头能正确接触芯片的电极，直到ES1和ES2指示灯点亮。再次按下UP/DW键，完成接触检测。

8.打开PClink测试连线软件，用户名和密码都是1。进行参数设定，并对档案进行命名，点击开始写档。

9.回到PG2000系统，点击开始测试。按下绿色Start键，设备开始进行检测。检测完成后，按下红色Abort键结束检测。如果在检测过程中需要暂停，则按下黄色Pause键，暂停结束后若仍需继续检测，则按下绿色Start键，系统继续对样品进行检测。若暂停后要结束检测，则按下红色Abort键?系统自动终止检测。

10.正常检测完毕，按下红色Abort键，结束检测。

检测完成系统关闭过程

1. 所有检测完成后，若需关闭系统，则首先要关闭PG2000软件和PClink软件，再正常关闭计算机。

2. 接着关闭显微镜左侧红色开关。

3. 然后关闭橙色POWER开关。

4. 确定系统中所有开关均已关闭后，最后按下红色OFF键关闭系统总电源。

5. 关闭系统过程中，必须按照以上步骤操作，否则极易造成设备损坏。

6. 待系统关闭后，关闭稳压电源蓝色开关，关闭接线板开关。拉下卷帘盖?检查无误后，方可离开。 故障备注：设备尚存在一些故障问题，显微镜右眼的目镜是坏的?无法，到样品，仅能从左眼目镜进行观察。

7.进行接触检测时，正常情况下按下UP/DW键观察ES1和ES2指示灯是否亮。点亮则说明接触良好?否则为接触不良，而即使接触良好?ES1和ES2灯也不亮。对针的时候无法直观判断接触情况，操作难度很大，需要检修。马老师说过段时间会有工程师来维修和详细培训，维修培训过后我会对操作手册进行进一步的完善和修改。