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阻抗测量仪技术指标
材料阻抗测试系统由两大部分组成，包括阻抗分析仪和宽带放大器。主要指标如下： 1.阻抗分析仪： 阻抗分析仪的频率范围：1MHz至3GHz，频率分辨率1mHz； 基本阻抗测试精度：≤±0.8%； 测量阻抗参数：|Z|、θ z、|Y|、θ y、Cp、Cs、Lp、Ls、Rp、Rs、D、Q、R、X、G、B等； 可扫描参数：测量信号频率、信号电压、信号电流等。[1]
阻抗测量仪主要功能
精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等。[1]
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