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椭圆偏振仪

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椭圆偏振仪是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的计量仪器,于2010年3月1日启用。

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椭圆偏振仪技术指标

光谱范围:高稳定性的 150 W;氙灯光源:光谱范围:190 –880 nm, 1200 gr/mm 的光栅;入射角度全自动可变:40-90度,步长0.05度,精度0.01度;Psi和Delta的精度很高:空气中,当: Psi=45度;Delta=0度,在190-880nm范围内:Psi= 45: +/- 0.01° ,Delta = 0 +/- 0.03°;在线单波长测量速度好于10ms/点,50ms/点可达到非常高的信噪比。[1]

椭圆偏振仪主要功能

测量样品的偏振参量信息等,可用于在线监测,也可用于离线的样品测试;可使用不同大小的光斑探测样品。[1]
参考资料


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