电子工业超纯水设备

1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

电去离子(EDI)系统主要是在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯的一种科学的水处理技术。电渗析器的一对电极之间，通常由阴膜，阳膜和隔板(甲、乙)多组交替排列，构成浓室和淡室(即阳离子可透过阳膜,阴离子可透过阴膜)。

淡室水中阳离子向负极迁移透过阳膜,被浓室中的阴膜截留；水中阴离子向正极方向迁移阴膜，被浓室中的阳膜截留，这样通过淡室的水中离子数逐渐减少，成为淡水，而浓室的水中，由于浓室的阴阳离子不断涌进，电介质离子浓度不断升高，而成为浓水，从而达到淡化、提纯、浓缩或精制的目的。

1.新工艺一

原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→RO前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→RO高压泵→RO反渗透零碎→RO水箱→RO水增压泵→混床→终端紧密过滤→设备用水(水质可以达到16MΩ.cm以上即0.06 μs/ ㎝以下,25 ℃)

2.新工艺二

原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→RO前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→RO高压泵→RO反渗透零碎→RO水箱→RO水增压泵→浅显混床→抛光混床→终端紧密过滤→设备用水

4.新工艺三

原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→RO前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→RO高压泵→RO反渗透零碎→RO水箱→RO水增压泵→EDI电去离子(又称填充床电渗析EDI/CDI)主机→终端紧密过滤→UV紫外线杀菌→设备用水

5.新工艺四

原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→RO前水泵→紧密过滤器(或称保安过滤器)→RO高压泵→RO反渗透零碎→RO水箱→RO水增压泵→EDI电去离子(又称填充床电渗析EDI/CDI)主机→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)箱→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)泵→抛光混床→终端紧密过滤→UV紫外线杀菌→设备用水

5.新工艺五

原水(设有压力保护)→增压泵(一用一备)→砂过滤器→炭过滤器→硬化器(根据地区不合选用)→紧密过滤器(或称保安过滤器)→两头水箱→一级RO高压泵→一级RO反渗透零碎→RO水箱→二级RO高压泵→二级RO水箱→增压泵→EDI(CEDI)电去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)主机→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)箱→去离子水(指除去了呈离子方式杂质后的纯水)泵→抛光混床→终端紧密过滤→UV紫外线杀菌→设备用水

电子超纯水设备的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

第二种采用反渗透+离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是比较经济与流行的一种工艺。

第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水，的的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。

电子工业用超纯水edi设备的应用领域

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

3、实验室和中试车间用超纯水;

4、汽车、家电表面抛光处理;

5、光电子产品;

6、其他高科技精微产品;

电子超纯水设备采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理的设计，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统(混床系统)，使其产水水质满足生产用水的要求.

a、电解质离子(钙、镁、铁、钠等离子)穿过液膜进入电子超纯水设备内的树脂表面;

b、离子进入树脂内部;

c、离子交换;

d、H离子或OH根离子向树脂外部扩散;

e、H离子或OH根离子进入水中形成H2O。

双床又称复床，复床是用阳、阴两种不同的离子交换的交换器的串联方式，如强酸性阳离子交换树脂和强碱性阴离子交换树脂串联的方式。这种阳床和阴床串联组成的设备称为复床，水先经过阳床除去带正电的离子(如Ca2+、Mg2+、K+、Na+)，并且置换出H+离子到水中;然后除去水中的阴性离子(如SO2-4、Cl-、HCO- 3)，并且置换出OH-离子到水中。同时，H+离子和OH-离子结合形成水H2O，从而达到去离子的作用。

EDI 利用混和离子交换树脂吸附水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子膜而被去除。

电子超纯水设备的工作原理是两个淡水室和一个浓水室离子交换过程。面向正极的阴离子膜与面向负极的阳离子膜之间构成浓水室;面向负极的阴离子膜与面向正极的阳离子膜之间组成淡水室。淡水室和浓水室中间夹着阴、阳离子树脂，当水从淡水室和浓水室流过时，离子交换树脂就吸附了水中的离子，在CDI 模块两端的电极提供了横向的直流电场，直流电场驱动离子交换树脂所吸附的离子穿过离子膜，其结果是降低了淡水室中水的离子浓度和增加了浓水室中水的离子浓度，从而使得淡水室中水的纯度越来越高。 CDI 模块就是由许多这样的基本单元组合在一起并联工作的。