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扫描电子显微镜法定义
用聚焦的电子束轰击样品，以获取次级电子、背散射电子、透射电子、样品电流、束感生电流、特征 X 射线、俄歇电子以及不同能量的光子的信号，采用其成像电子信号，特别是次级电子信号，来获取物质表面形态的信息，帮助分析和观察物质表面化学和物理性质的技术。
扫描电子显微镜法出处
《计量学名词》版。[1]
参考资料
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