牟昌华

2006年，牟昌华授命担任公司重大战略项目“8英寸半导体数字气体质量流量控制器”技术负责人。该项目旨在开发我国新一代数字气体质量流量控制器。气体的控制和测试在几乎应用所有的工业现代化领域，测量和控制的水平将直接影响到该领域的技术水平和产品质量，因此是重要的核心工艺。由于项目的重要意义，2007年北京给予牟昌华优秀人才项目培养基金资助。

在牟昌华的带领下，项目组成功研制了CS200气体质量流量控制器，并建立了完整的供应链体系和生产制造能力。2008年9月，CS200型产品通过北京市的新产品鉴定，并在北京北方微电子基地设备工艺研究中心和北京大学微电子所成功进行了工艺试用，鉴定结论该产品的技术指标已达到国际同类水平。目前，CS系列产品已经成为我国款拥有自主知识产权的气体质量流量控制器。目前在国内大规模集成电路及半导体，光伏太阳能，真空、特种玻璃等各个行业取得了客户的普遍认可，产品已经在美国、欧洲等各个地区开始拓展。

2008年6月起，牟昌华担任国家科技重大专项02号专项“300mm 90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器”项目子课题三技术负责人。该课题旨在研制我国300mm生产线的气体质量流量控制器，打破国外的技术壁垒。目前所研发的产品已在我国各主要大规模集成电路产线和装备企业进行了测试，测试结果良好。

2009年，随着国际上对于燃料电池新兴能源的重视，牟昌华开始针对燃料电池行业需求的气体流量控制产品展开研究，最终根据该行业特点陆续推出了多款产品。其中，2011年推出了专门为燃料电池行业开发的数字化的CS230G产品，该产品具备极低压差，宽温度使用范围，低温度系数和零漂，可靠通讯协议，安全认证等多项优势。目前产品已经出口海外超过3000台，是目前国际上适用于商业燃料电池电站的气体质量流量控制器，取得了良好的经济和社会效益。2011年，CS230G通过北京市的新产品鉴定，鉴定结论其技术水平达到。

坚持技术创新的牟昌华在质量流量控制器领域共申请获得10余项，其中国际PCT发明2项。在国际国内重要会议上发表论文5篇。2009年，牟昌华顺利完成在七星华创电子股份有限公司博士后工作站、清华大学自动化系博士后流动站的博士后工作，以优秀成绩通过考核。2012年，牟昌华所带领的团队获得北京市“牟昌华创新工作室”称号。

牟昌华先后获得北京市劳动、北京市经济技术创新*等多项荣誉^[3] 。