1概述

    差压式流量计采用*的硅微机械加工技术生产，以集成硅压阻力敏元件作为传感器的核心元件制成的压力变送器，由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔，及一系列无应力封装技术及精密温度补偿技术，因而具有稳定性优良、精度高的突出优点，适用于各种情况下压力的测量与控制。

2特点及用途

采用低量程芯片真空绝压封装，产品具有高的过载能力。
芯片采用真空充注硅油隔离，不锈钢薄膜过渡传递压力，具有优良的介质兼容性，
适用于对316L不锈钢不腐蚀的绝大多数气液体介质真空压力的测量。
真空度传染其应用于各种工业环境的低真空测量与控制