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平整度测试仪仪器特点
■厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；
■无接触测量；
■无需校准；
■高精度、高重复性；
■样品台可选：4寸、6寸、8寸；
■强大的分析软件，可显示3D表面形貌；
■同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；
平整度测试仪部分技术指标
■TTV
■精确度：±0.1um
■重复性精度：0.01um
■厚度
■精确度：±0.2um
■重复性精度：0.1um
■测试范围：50-2000um
■翘曲度/弯曲度
■精确度：0.5um
■重复性精度：0.2um
■测试范围：200um
■整机参数
■测量时间：<100秒
■测量尺寸：8寸
■尺寸：550*602*291mm
■整机功率：800W
参考资料
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