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扫描式电子显微镜/扫描探针显微镜技术指标
XY方向分辨率为0.2nm，Z方向为0.01nm，扫描范围150*150um。[1]
扫描式电子显微镜/扫描探针显微镜主要功能
利用针尖与样品表面原子间的微弱作用来作为反馈信号，维持针尖与样品间的作用力恒定，同时针尖在样品表面扫描，从而得知样品表面高低起伏。[1]
参考资料
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