三维X射线显微镜_仪表百科

三维X射线显微镜技术指标

极限分辨率0.9微米，最小体素尺寸70纳米； X射线源：30-160kv透射闭管X射线源；探测器：闪烁体+光学镜头+CCD，像素数量：2048×2048；样品台：四轴平移旋转样品台，载荷15公斤。^[1]

三维X射线显微镜主要功能

材料或器件内部结构及缺陷的无损观测，材料整体或局部的三维成像。^[1]

参考资料

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